结果正式出炉!中企开始逆袭,ASML做出改变
由于全球缺芯的原因,各地开始重视芯片,纷纷投资提升本土芯片制造能力。我们更不例外,因为西方的制裁打压,在此之前就已明白芯片自主的重要,并已付诸于行动。
并且我们是从芯片的全产业链在努力,不仅是芯片的设计、制造和封测,还有芯片制造设备和材料,都在积极进取寻求突破。尤其是最重要的设备方面,近日好消息传来。
中企已开始逆袭
芯片制造方面,我们有中芯国际、华虹半导体等晶圆制造企业,但目前还做不了高端制程芯片,因此华为的芯片才会被限制,因为高端制程芯片只有台积电、三星才能做。
问题的关键就在于缺少EUV光刻机,ASML也受限制不能卖给咱们。光刻机是芯片制造的最关键设备,不过是芯片制造所需的八大设备之一,其他的设备哪个少了也不行。
因此,人家限制的不只是EUV光刻机, 而是10nm制程以下相关的所有制造设备。
在这种情况下,中芯国际才决定重点推进28nm及以上成熟制程,因为这是国内市场需求最大的。并且在这个层面,除了光刻机,国产的芯片制造设备基本上都能够实现。
芯片制造设备是晶圆代工行业的基础,只有设备逐步实现国产化,才能够逐步摆脱国外的限制。近年来,相关设备制造企业一直在努力,之前做设备连试错的机会也没有。
如今,国产芯片制造设备的发展机会来了,众多晶圆厂开始积极采购国产制造设备。
近日,上海积塔半导体正式发布消息,公布了多项芯片制造设备中标结果,让我们看到了中企的实力。其中,有北方华创、拓荆科技、稷以科技、芯源微等多家中企中标。
这次中标结果共有7家企业,其中6家为中企,还有一家是ASML,中标了2台i-line光刻机、1台KrF光刻机。可见,除了光刻机外,其他芯片制造设备都从中企采购。
这说明,只要是国内供应链能够做的制造设备,国内的晶圆厂商已经开始积极采购。
ASML做出改变
当然,重点是中企的设备水平上来了,能够满足产线的正常运行。上边中标的企业都在某些设备上都有重点突破,比如北方华创的气相沉积设备、芯源微的涂胶显影机。
还有拓荆科技的薄膜沉积设备、稷以科技的等离子去胶机。另外,中微半导体的刻蚀机,中科信、凯世通的离子注入设备,上海微电子的封装光刻机,盛美的清洗设备等。
这些国产设备不少已经进入中芯国际、华虹半导体、长江存储等多个晶圆生产线。
以上可以看出,八大芯片制造设备,除了光刻机外,基本上国产的水平都能用于28nm产线,有些已经达到14nm。最厉害的是刻蚀机已达到了5nm,台积电都在使用。
从这次中标来看,ASML已在和中企共同参与投标,即使并不高端的光刻机也在做。因为ASML已经感受到了压力,四大业务有两项已有国产替代,所以只能做出改变,
ASML主要有四大业务,分别是EUV光刻机、DUV光刻机,电子束量测和计算光刻。
其中,电子束量测和计算光刻这两项,中企东方晶源都已经实现了国产化。还记得前段时间,ASML公开指出中企侵权吗,就是因为东方晶源实现了突破,且有自主产权。
去年,东方晶源的首台12英寸CD-SEM就成功交付中芯国际,就是电子束量测设备。
这两项产品并不是用于芯片制造,但也很重要,因为能够用于提升芯片良率,中芯的14 nm产品良率追平台积电,28 nm和FinFET工艺营收占比提升,都跟此有关系。
ASML的四大业务有两项已有国产替代,自然就会采用国产的。这样,ASML的业务面就小了,EUV又不能出货,大陆业务就只能靠DUV了,因此即使量少也积极投标。
另外,即使是DUV光刻机也在积极突破中,一旦能够国产,ASML就可以再见了!