中国光刻机之路有多远?ASML阿斯麦CEO感慨的背后
中国不太可能独立造出顶尖光刻机,但不是绝不可能 ,这话是荷兰光刻机巨头、阿斯麦 CEO说的,他为什么会说这话?说这话背后又隐含怎么的逻辑呢?难道他知道了些我们所不知道的信息了吗?首先,大家都了解,上海微电子,目前只能造出28nm制程芯片的DUV光刻机,而更高制程光刻机的研发进度,可能涉及到因素太多,目前都处于保密阶段,没有透露更多消息。
而目前共有三家机构,承接了中国光刻机研发的任务,分别是上海微电子,中国电科和长春光机所。其中上海微电子和中国电科,都是在突破DUV光刻机,而长春光机所是EUV光刻机,它是基于哈工大DPP-EUV的光源。所以这就是为什么?老美会把哈工大列为实体清单了。
光刻机其实和原子弹有些相似,就是技术路线和原理是明确可知的,它是现代制造业的明珠,涉及到各门类尖端工程技术,是一项系统性工程。所以阿斯麦 CEO之前会说,即使图纸拿给你,你也造不出来。然而,中国就这是脾气,国际空间站不让我们参与,我们就自己建空间站,曾经进口一台盾构机,要7个亿,还要另算高昂的维修维护费用,索性我们就自己造出了更先进的盾构机,并把价格打到国外的1/10不到,还有填海神器的"天鲸号""天鲲号"、定位导航的北斗卫星,等等,类似于此类例子,不胜枚举,所以,中国做出成熟的光刻机,这是我们的必达使命,虽然这条路很艰难,这个难度,甚至远超当年的"两弹一星",而阿斯麦CEO在这个时候,会有如此的感叹,我分析他一定知道了些什么,尤其是东哥重点关注的长春光机所,据公开资料显示,它已经成功攻克了制造光刻机最核心的物镜系统,再加上已经取得突破的双工件台系统、光源系统,以及已经被芯和半导体攻破的、EAD工程软件系统。也就是说,我国在光刻机的四大组件上,都部署了科研力量,并完成了一系列的技术攻克,相信更多高端国产光刻机的生产,还是可以期待的。所以,我理解,这就是阿斯麦CEO会说出开头的那句话了,但同时,这条路任重而道远,我们也不能过于乐观,大家客观理解就好了,你们说呢?欢迎评论留下您的见解,记得点赞加关注,回见~
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