磁随机存储器（MRAM）因具有非易失性、低功耗以及高访问速度等特点，在未来新兴存储领域颇具应用前景。尤其是基于自旋轨道矩（SOT）技术的MRAM存储器具有超高速、高耐久性的优势，更适用于高速缓存。然而，在SOT-MRAM集成中存在技术瓶颈，制约了其走向应用。隧道结的刻蚀工艺是关键的技术挑战和难点之一。在SOT隧道结（SOT-MTJ）刻蚀过程中，金属副产物的反溅使得MTJ的MgO隧穿势垒层（厚度~1 nm）短路，从而造成较低的器件良率。半导体研发机构和企业在SOT-MRAM刻蚀工艺上开展了研究，提供了良好的解决思路，而SOT-MRAM的刻蚀工艺依然是业界面临的重要技术挑战。 为了更好地解决SOT-MRAM的刻蚀技术难题以实现SOT-MTJ的高密度片上集成，同时探讨不同的刻蚀工艺对器件磁电特性的影响，中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心研究员罗军课题组开发出基于垂直磁各向异性SOT-MTJ的刻蚀＂停MgO＂工艺（SOMP-MTJ）。该工艺有效地解决了SOT-MRAM制造中的刻蚀短路问题。传统的SOT-MTJ刻蚀方法（NSOMP-MTJ）使刻蚀停止在底电极上（图1a、b），在刻蚀过程中MgO层极易附着金属，造成器件短路。刻蚀＂停MgO＂工艺使MTJ刻蚀终点精确地停止在~1 nm厚的MgO层上（图1c、d）。由于隧穿层MgO的侧壁从未暴露，从而避免了MgO层的短路。利用＂停MgO＂刻蚀工艺制备的SOT-MTJ器件阵列，晶圆的电阻良率可提升至100%，同时提高了器件的TMR、电阻、矫顽力等关键参数的均匀性（图2a、b）。另外，＂停MgO＂器件具有更高的热稳定性、更低的翻转电流密度以及高达1 ns的翻转速度（图2c、d）。该成果为高速、低功耗、高集成度SOT-MRAM的刻蚀技术问题提供了关键解决方案。 相关研究成果以Enhancement of Magnetic and Electric Transport Performance of Perpendicular Spin-Orbit Torque Magnetic Tunnel Junction by Stop-on-MgO Etching Process为题，发表在《电子器件快报》（IEEE Electron Device Letters）上。研究工作得到科技部、国家自然科学基金、中科院等的支持。 图1.（a）＂停底电极＂器件TEM图，（b）＂停底电极＂器件EDS图，（c）＂停MgO＂器件TEM图，（d）＂停MgO＂器件EDS图。 图2.＂停底电极＂器件（NSOMP-MTJ）和＂停MgO＂器件（SOMP）磁电特性对比结果。（a）TMR、Rp，（b）偏置场Hoff、矫顽场Hc，（c）热稳定性因子，（d）翻转电流密度的性能对比。 来源：中国科学院微电子研究所 本账号稿件默认开启微信 ＂快捷转载＂ 转载请注明出处 其他渠道转载请联系 weibo@cashq.ac.cn
放弃华为mate50Pro购买了苹果14Plus，使用7天后，心里话不吐不快双十一换机纠结了许久，体验过同事的华为Mate50Pro后，下定决心购买了iPhone14Plus，使用7天后，心里话不吐不快。先说续航方面这点我真的有资格多夸一下它，这个电量用的发动机掘进机加油船央企高端装备传捷报央企杀手锏小新说企业是创新主体，中央企业是科技创新的国家队。习近平总书记强调，国有企业特别是中央所属国有企业，一定要加强自主创新能力，研发和掌握更多的国之重器。十四五期间，中央企业将进一步加在海珠区握手楼窄巷子穿梭，他们每天扫楼三次当前广州正面临三年以来最复杂最严峻的疫情。为遏制海珠区严峻的疫情形势，11月5日当晚11点，接到紧急通知后，广州中医药大学第一附属医院（以下简称广中医一院）第一时间组织了抗疫突击队人民币市场汇价（11月18日）新华社北京11月18日电中国外汇交易中心11月18日受权公布人民币对美元欧元日元港元英镑澳元新西兰元新加坡元瑞士法郎加元林吉特卢布兰特韩元迪拉姆里亚尔福林兹罗提丹麦克朗瑞典克朗挪威心烦的时候，就这样安慰自己人，都有心烦的时候，心烦，就有脾气，看什么都不顺眼，做什么都不顺心，影响工作和生活。所以当你心烦的时候，先冷静一下，这样安慰自己。1不是自己的，强留无用无论是事情，还是感情，都是命京东物流三季度营收达357。7亿元，同比增长38。936氪获悉，京东物流发布2022年第三季度业绩。三季度，京东物流首度与德邦并表，营收达357。7亿元，同比增长38。9。其中来自外部客户收入达248。7亿元，同比增长67。8，占比龙虎榜丨3。71亿资金抢筹众生药业，机构和北向资金在这5股现分歧11月17日，上证指数下跌0。15，深证成指下跌0。13，创业板指下跌0。71。盘后龙虎榜数据显示，共有33只个股因当日异动登上龙虎榜，资金净流入最多的是众生药业（002317。SFPX冰岛内幕曝光，Nuguri不要钱也要离队，刘青松被关小黑屋前两天V5前教练涵义要曝光FPX冰岛内幕的瓜吸引了不少网友的注意，连Doinb本人都有些迫不及待，希望他赶紧把内幕说出来。而就在最近，这个事情终于是有了后续，不过和大家想象的不太一河南前首富打烂一手好牌文二掌柜10每日优鲜2021年净亏损38亿2022年都快过去了，每日优鲜才提交2021年的年报。晚来的不是好饭，每日优鲜净亏损38亿，相当于每天一开张，就要亏进去1000万，每日优数字赋能河南农业智慧升级，力争到2025年农业生产数字化率超30丨乡村振兴看河南大河报大河财立方（记者王磊彬）随着新一代信息技术的创新发展，新产品新模式新业态层出不穷，为数字乡村数字农业发展创造出了前所未有的重大机遇。作为农业大省，河南省近年来大力发展数字农业人民币中间价下调436个基点，机构称短期或难以出现趋势性升值行情11月18日，人民币兑美元中间价报7。1091，下调436点上一交易日中间价7。0655，上一交易日官方收盘价7。1291，上日夜盘报收7。1551。美元指数17日上涨，衡量美元对