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中国科技快速发展,哈工大新技术曝光,助力28nm光刻机突破

  如果说曾经的我们因为落后而自卑,那么现在的我们就为中国的崛起而骄傲。经过70多年的发展,尤其是近40年来的快速发展,中国早已今非昔比,在各个科技领域都取得了不错的成果,可以说是真正的科技强国。
  在航空航天方面,我们先有"嫦娥"奔月,后有"天问"登火,再有"羲和"探日,又有"天宫"迎客。在工程机械方面,我们有全球最经济的盾构机,有昆仑号千吨级架桥机,有101米级泵车,2万吨级龙门吊,其他方面也都取得了不错的成绩。
  不过,在尖端的半导体领域,我们还是要有所不足的。如今,世界先进制造水平已经到了3nm的程度,但中国却卡在了14nm的程度,甚至在未来很长一段时间都无法继续突破,这都是因为我们没有EUV光刻机。
  说到光刻机,那就是现代科技的明珠,尤其是EUV光刻机,没有任何一个国家可以单独将其制造出来,因为里面包含了50多万个部件,每一件都是行业内最顶级的企业才能造出来,离开了谁都不行。
  比如其中的光源就是来自于美国的,物镜组、光学组件、精密加工是来源于德国的,零部件来源于日本, 浸没双工作台来源于荷兰、中国台湾,荷兰ASML公司只是将其组装起来,不是说组装不重要,但没有其他部件荷兰也的确造不出光刻机。
  在很早的时候,中国芯片之父张汝京就致力于提高中国芯片科技,创立中芯国际一路将芯片制程攻克到45nm,距离世界先进水平也仅有一步之遥,如果不出意外只需要一年半的时间就可以赶上世界先进水平。
  然而,意外出现了,先是台积电控诉中芯国际侵权,导致中芯国际发展遇阻,张汝京无奈辞职,后是美国封锁中国EUV光刻机,导致中芯国际花1.9亿美元订购的EUV光刻机,至今无法交付,甚至交付遥遥无期。
  华为、中芯的遭遇已经告诉了我们,不能将希望寄托在别人身上,唯有将科技掌握在自己手里才是正道,包括光刻机也只有自己突破才能不被别人卡脖子。毫无疑问,光刻机制造很难,尤其是先进的光刻机。
  曾经,中国专家团队到荷兰ASML参观,ASML工程师骄傲地说:"别看了,就算我们把图纸给你们,花50年你们也造不出光刻机!"这固然有他们轻视的成分在里面,但也足以说明光刻机的制造难度了。
  然而,中国一贯都是不怕困难的,我们每次遇到困难都是迎难而上,然后一点一滴地攻克,曾经我们没有自己的导航系统,结果美国把GPS一关,我们的轮船就只能在大海里游荡,结果我们痛下决心,花了30年打造了北斗导航系统。
  曾经我们想要加入美国空间站,但却被拒绝了,深知求人不如求己的中国人,发誓要造出自己的空间站,于是我们用了30年打造了自己的国际空间站。这一次,在光刻机方面,我们遇到了困难,但我们绝不会退缩,而是下定决心来攻克。
  前不久,90nm光刻机已经下线了,这也是日本佳能的水平,而近期28nm光刻机又传来了好消息,哈尔滨工业大学攻克了其中的超精密测量技术,研制了超高精密高速激光干涉仪,在这一关键技术突破了美国封锁。
  其实,不仅是哈尔滨工业大学,中国有众多大学都在为中国光刻机做努力,比如清华大学、北京大学、复旦大学、华中科技大学等等,其中清华大学在去年发现的新型的粒子加速器光源,就有望运用到光刻技术中。
  28nm光刻机越来越近了,无论是多么强大的封锁,都不能阻止我们科技向前的脚步,正如ASML高管所说:"中国制造出高端光刻机只是时间问题,连荷兰都可以造出光刻机,比荷兰强大17倍的中国,又凭什么认为他们造不出光刻机?"
  一语成谶,ASML高管所担心的问题就要来了,当中国28nm光刻机落地之时,ASML的DUV光刻机就将彻底失去中国市场,遭受灭顶之灾,相信在华为、清华、北大、哈工大等一众顶级科研机构的协作写,这一天不远了。

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