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科学家揭开硅上激光诱导的周期性表面结构的秘密

  我们日常使用的电子和光学设备,如移动电话、LED和太阳能电池,使用的晶体管和其他成分不断变得更小、更紧凑。随着对计算能力、存储和能源效率的需求不断增长,这种趋势只会继续发展到新的极致。
  为电子设备生产如此小的部件需要加工和制备亚微米尺度的结构,最多可以比人类头发的宽度小数百倍。但目前的纳米表面加工方法使用的是光刻和电子束光刻--这些方法复杂、极其昂贵,通常无法进入,而且需要高水平的专业知识。
  激光诱导的周期性表面结构(LIPSS)已被指定为这些方法的一个新的和有前景的替代方法。在LIPSS中,飞秒激光器被用来提供超短的激光脉冲,从而在表面上自发地形成比激光波长小得多的周期性图案。
  LIPSS中一个众所周知的参数是激光波长的选择,它直接影响到所形成结构的周期性。然而,其他参数仍然是未知的。关于LIPSS的标准化使用的主要关注点包括形成的表面结构的质量,即基材的结晶度、潜在的缺陷和应变。为了始终如一地生产出具有可控性能和特点的LIPSS,以满足特定的应用,关键是要了解哪种激光源应该用于哪种特定的需求。
  通过对激光特性的适当选择,激光诱导的周期性表面结构(LIPSS)可以通过操纵其缺陷、应变和周期性,为特定的应用进行调整和定制。资料来源:名古屋工业大学的Reina Miyagawa
  为了更深入地回答这些问题,一个由名古屋工业大学的科学家领导的日本研究合作,现在已经直接调查了受激光选择影响的各种参数。这项工作与大阪大学、东海大学、京都大学和日本原子能机构(JAEA)合作,由名古屋工业大学的Reina Miyagawa助理教授领导,同时还有大阪大学的Norimasa Ozaki副教授和东海大学的Masaki Hashida教授,后者也是京都大学的一名研究员。他们的研究结果已经发表在《科学报告》杂志上。
  研究人员们解释说:"在我们的研究中,我们选择了硅作为基底,因为它是世界上许多光电设备中使用的一种材料,如晶体管、移动电话和太阳能电池。"
  研究人员在衬底上使用了两种不同的飞秒激光器。在一个实验中,一个脉冲为0.8微米的钛和蓝宝石(Ti:Sapphire)激光系统被用来在高于带隙能量的能量下构造硅。在另一个实验中,研究人员使用了一个中红外脉冲为11.4微米的自由电子激光器,这可以在低于样品带隙能量的能量下探测效果。对LIPSS样品的分析是在显微镜和宏观上进行的。使用透射电子显微镜(TEM)研究了微观的结晶度和纯度,而使用同步辐射高能X射线衍射(XRD)研究了更宏观的应变和广义结构的稳定性分析。
  "当使用Ti:Sapphire激光时,观察到的LIPSS保留了硅的高度结晶性,但似乎承担了一些残余的应变。相反,由中红外自由电子激光器形成的LIPSS导致了一些明显可见的缺陷。然而,该系统没有任何可观察到的应变,"宫川博士补充说。
  这项研究构成了第一份关于使用同步辐射高能X射线衍射技术对LIPSS的结晶性进行高分辨率、微观和宏观观察的报告。研究结果表明,LIPSS如何通过选择适当的激光器来操纵其缺陷、应变和周期性,从而为特定的应用进行调整和定制。沿着这些思路继续研究,可以进一步打开LIPSS广泛应用的途径,以实现低成本、简单、易得的纳米结构表面的制造,应用于广泛的光电设备。

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