集增材与减材制造于一体!飞秒激光微纳加工综合系统全新上市!
随着材料加工、微纳机电、微流控、新型医疗设备、微电子器件等领域的发展,对不同材料的精细激光加工的需求越来越多。借助激光加工技术不仅可以对材料进行减材制造,还可以对特定材料进行增材制造。 增材减材复合神器
近日,Quantum Design中国公司引进了Femtika公司设计并生产的 飞秒激光微纳加工综合系统-Laser Nanofactory ,以满足科研或工业界对精细激光加工的需求。Laser Nanofactory是一款集增材与减材制造于一体的综合微纳加工系统。Laser Nanofactory与传统的微纳3D打印设备相比不仅可用于光子学聚合物微纳结构的加工,还可以用于石英,陶瓷,玻璃和金属等材料从毫米到微米尺度的精确加工。得益于Femtika国际领先的飞秒激光技术,Laser Nanofactory加工速度可高达50 mm/s ,加工精度优于100 nm ,加工过程中无拼接痕迹。Laser Nanofactory可以提供不同功率的激光,满足您从工业生产到科研探索的多方面需求。
Femtika飞秒激光微纳加工综合系统-Laser Nanofactory
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Quantum Design-飞秒激光微纳加工综合系统-Laser Nanofactory
精选案例
2.1多光子聚合(Multi-Photon Polymerization)微纳加工
光学微结构
左图为菲涅尔微透镜,右图为微棱镜
生物医药
左图为微针阵列,右图为生物用微支架
MEMS/传感器
左图为可活动的微锁链,右图为微型弹簧
2.2激光选择性刻蚀
微流控加工
左图为在熔融石英玻璃上制备的微流道,右图为在玻璃中刻蚀的特斯拉阀
MEMS
左图为微型间歇齿轮,右图为特殊3D喷嘴
2.3激光刻蚀
金属加工
左图为在金属上制备直径为30 μm的微洞,右图为长度500 μm的二维码
表面改性
左图为在金属表面上制备的疏水微结构,右图为在金属表面上制备的亲水微结构
利用飞秒激光在钛金属表面产生不同厚度的氧化层
2.4 综合加工应用
利用激光刻蚀制备出较大的微流道,再通过多光子聚合技术在流道的特定位置形成微滤网已有用户
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[1] A. Butkutė, G. Merkininkaitė, T. Jurkšas, J. Stančikas, T. Baravykas, R. Vargalis, T. Tičkūnas, J. Bachmann, S. Šakirzanovas, V. Sirutkaitis, and L. Jonušauskas, "Femtosecond Laser Assisted 3D Etching Using Inorganic-Organic Etchant", Materials 2022,15, 2817, (2022).
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[22] L. Jonušauskas, S. Rekštyte, R. Buividas, S. Butkus, R. Gadonas, S. Juodkazis, and M. Malinauskas,"Hybrid subtractive-additive-welding microfabrication for lab-on-chip applications via single amplified femtosecond laser source," Opt. Eng. 56(9), 094108 (2017).
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